?? 线列式PECVD等离子体化学气相沉积镀膜设备 - 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

首页 ? 产品中心 ? CVD镀膜设备 ? PECVD系列等离子体化学气相沉积镀膜设备

线列式PECVD等离子体化学气相沉积镀膜设备
编号:SN20151013154830471
类别:PECVD系列等离子体化学气相沉积镀膜设备
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    设备用途

        本设备采用等离子体增强化学气相沉积技术,在光学玻璃、硅正在播放极品美少女-正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女、石英以及不锈钢等不同衬底材料上沉积氮化硅正在播放极品美少女-正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女、非晶硅和微晶硅等薄膜,用以制备非晶硅和微晶硅薄膜太阳电池器件≌诓シ偶访郎倥?正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女正在播放极品美少女-正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女?晒惴河τ糜诖笞ㄔ盒?、科研院所的薄膜材料的科研项目正在播放极品美少女-正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女。

     

    设备组成

        多室CVD结构由2个进出片室、3个独立PECVD反应真空室按直线结构连接,工件通过传输机构输送到各个真空室中进行工艺处理,各真空室间用插板阀连接正在播放极品美少女-正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女。该系统主要由真空室正在播放极品美少女-正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女、真空获得系统、射频和甚高频电源、衬底加热控温系统、气路系统、尾气处理系统正在播放极品美少女-正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女正在播放极品美少女-正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女、传动系统等部分组成。

留言咨询 (* 为必填项目)
* 姓名
* 内容
* 验证码
?
 
QQ在线咨询
在线QQ客服
3249891528
咨询热线
024-23826855
正在播放极品美少女-正在播放清纯美少女-正在播放超s级美少女
<form id="rpjhx"></form>
<noframes id="rpjhx"><address id="rpjhx"><nobr id="rpjhx"></nobr></address>

<sub id="rpjhx"></sub><span id="rpjhx"><span id="rpjhx"></span></span>
<address id="rpjhx"></address>
<noframes id="rpjhx"><form id="rpjhx"><nobr id="rpjhx"></nobr></form>

<noframes id="rpjhx">